紫外臭氧清洗機(jī)是利用紫外線（UV）照射產(chǎn)生臭氧（O?），對(duì)材料表面進(jìn)行清潔、活化或去除有機(jī)物污染的設(shè)備，廣泛用于半導(dǎo)體、光學(xué)、實(shí)驗(yàn)室等對(duì)表面潔凈度要求較高的領(lǐng)域。

參數(shù)直接決定清潔效果和適用范圍，核心指標(biāo)如下：

紫外線波長(zhǎng)：需同時(shí)包含 185nm（臭氧生成）和 254nm（有機(jī)物分解），部分機(jī)型可調(diào)節(jié)波長(zhǎng)占比，適配不同污染類(lèi)型。

紫外線強(qiáng)度：通常為 10-100mW/cm²，強(qiáng)度越高，臭氧生成速度越快，有機(jī)物分解效率越高。

處理時(shí)間：一般為 1-30 分鐘，短則用于輕度清潔，長(zhǎng)則用于重度有機(jī)污染。

腔體容積：小型機(jī)5-50L，大型機(jī)100-500L，需根據(jù)待清潔工件尺寸選擇。

氣源要求：可通入空氣或純氧，通入純氧時(shí)臭氧濃度更高，清潔效率提升30%-50%。

紫外臭氧清洗機(jī)的操作規(guī)程：

使用前仔細(xì)檢查設(shè)備的外觀是否完好，各部位是否固定牢固。

確保設(shè)備處于關(guān)機(jī)狀態(tài)，電源線插頭未插入插座。

操作人員應(yīng)佩戴防護(hù)眼鏡和手套等防護(hù)用品。

將被清洗物品放置于設(shè)備的清洗區(qū)域，按下開(kāi)機(jī)鍵，選擇所需的清洗模式并設(shè)定時(shí)間。

清洗完畢后，手動(dòng)關(guān)閉設(shè)備，調(diào)整清洗區(qū)域中的物品。

維護(hù)保養(yǎng)：

每次使用完畢后，必須清洗設(shè)備表面和各部件以及紫外燈照射區(qū)域。

定期更換紫外燈以及清洗物料與過(guò)濾網(wǎng)。

新燈泡更換后，要關(guān)閉后上電檢測(cè)，確保燈泡是否更換成功。

定期對(duì)設(shè)備進(jìn)行全面檢查和保養(yǎng)，以確保設(shè)備的正常運(yùn)行和清洗效果。